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2004年1月7日 摘要: 闡明了微機電系統(tǒng)(MEMS)的學科內(nèi)涵,概述了體微機械加工技術、表面微機械加工技術和復合微機械加工技術的特點,運用具體實例對三種硅基微機械加工技術的基本

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2020年8月16日 于周順澤 【期刊名稱】《電子世界》 【年(卷),期】2016(000)023 【摘要】微電子機械系統(tǒng)而言,硅基微機械加工技術是其重要的實現(xiàn)技術之一. 這種技術的應用是微

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2017年5月26日 字數(shù):約小于1千字 發(fā)布時間: 瀏覽人氣:30 下載次數(shù):僅上傳者可見 收藏次數(shù):0 需要金幣:*** 金幣(10金幣=人民幣1元) 硅微機械加工技術黃慶安.pdf 關閉預覽 想預覽更多內(nèi)容

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微機械的全稱為微電子機械系統(tǒng),是以微電子技術和微加工技術為基礎的一項新技術。目前主要應用的是硅微加工方法。本書著重介紹了硅微加工技術中應用的各種方法,包括各向異性濕

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斑竹,我是一個搞生物的,但是很喜歡MEMS,雖然朝著這個方向的努力得到了在其他領域的結(jié)果,但是和我的

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2021年2月28日 硅微機械加工技術(黃慶安編著)思維導圖。硅微機械加工技術(黃慶安編著)思維導圖.xmind {code:InvalidRange,message:The requested range cannot be satisfied.,

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提出用發(fā)展中的硅微機械加工技術設計制作硅一體化薄膜微電極器件。 A silicon integrated thinfilm microelectrode device was developed by using silicon micromachining

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首頁 會員 發(fā)現(xiàn) 等你來答 ? 登錄加入知乎 簡介 討論 精華 等待回答 關注話題 硅微機械加工技術 內(nèi)容簡介英國劍橋大學出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本關于微系

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